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課程名稱 |
半導體製造技術
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGY |
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開課學期 |
94-1 |
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授課對象 |
生物資源暨農學院 生物產業機電工程學研究所 |
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授課教師 |
陳林祈 |
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課號 |
BME5708 |
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課程識別碼 |
631 U4640 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期二6,7,8(13:20~16:20) |
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上課地點 |
農機會議室 |
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備註 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/941SMT |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
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課程目標 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
每週一 11:00~12:00
每週三 11:00~12:00 |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
Xiao, H. (2001) Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology,
Prentice-Hall
Sze, S. M. (2001) Semiconductor Devices: Physics and Technology (2nd ed), Wiley
Quirk and Serda (2001) Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice-Hall
莊達人 (2002) VLSI製造技術 (第5版), 高立圖書公司
陳力俊等 (2000) 微電子材料與製程,材料學會
Madou, M. J. (2002) Fundamentals of Microfabrication: The Science of
Miniaturization (2nd ed.), CRC Press
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中考 |
40% |
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2. |
期末考 |
40% |
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3. |
隨堂測驗 |
0% |
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4. |
作業 |
20% |
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5. |
報告 |
0% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
9/20 |
Introduction |
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第2週 |
9/27 |
IC Fabrication Overview |
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第3週 |
10/04 |
Semiconductor Basics |
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第4週 |
10/11 |
Wafer Manufacturing |
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第5週 |
10/18 |
Thermal Processes I |
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第6週 |
10/25 |
Thermal Processes II |
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第7週 |
11/01 |
Photolithagraphy |
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第8週 |
11/08 |
Plasma Basics |
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第9週 |
11/15 |
Day Off (The NTU Day) |
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第10週 |
11/22 |
Mid-Term Exam |
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第11週 |
11/29 |
Ion Implantation |
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第12週 |
12/06 |
Etch |
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第13週 |
12/13 |
CVD & Dielectric Film |
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第14週 |
12/20 |
Metallization |
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第15週 |
12/27 |
Chemical Mechanical Polishing |
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第16週 |
1/03 |
Process Integration & Advanced Processes |
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第17週 |
1/10 |
Final-Term Exam |
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